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exoimerlaserlithography相关论文
宽带折反射式紫外光刻物镜的设计
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和......
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